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    真空镀膜技术及设备两百年发展历史

    浏览:336    日期:2020-10-05

      化学镀膜最早用于在光学元件表面制备?;つ?。随后,1817年,Fraunhofe在德国用浓硫酸或硝酸侵蚀玻璃,偶然第一次获得减反射膜,1835年以前有人用化学湿选法淀积了银镜膜它们是最先在世界上制备的光学薄膜。后来,人们在化学溶液和蒸气中镀制各种光学薄膜。50年代,除大快窗玻璃增透膜的一些应用外,化学溶液镀膜法逐步被真空镀膜取代。
     
      真空蒸发和溅射这两种真空物理镀膜工艺,是迄今在工业领